臭氧發(fā)生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無法儲存，需現(xiàn)場制取現(xiàn)場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發(fā)生器。臭氧發(fā)生器在飲用水，污水，工業(yè)氧化，食品加工和保鮮，醫(yī)藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。 臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設計時，能防止大量水進入到發(fā)生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質在繼續(xù)運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設計和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發(fā)生器內。

臭氧系統(tǒng)的核心技術和設備是發(fā)生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發(fā)生器采用微間隙介質阻擋放電設計，不僅大大提高了運行的效率，而且增加了系統(tǒng)連續(xù)運行的安全可靠性。設備的技術參數(shù)已經(jīng)達到國際水平。 由于采用微間隙放電技術，使系統(tǒng)運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質的耐壓水平，有效地避免了介質擊穿短路故障的發(fā)生，提高了運行可靠性。 臭氧發(fā)生器放電單元所采用的模塊化設計方法，使設備的安裝，檢修和維護工作更加容易。在進氣氣源質量的條件下，臭氧發(fā)生器放電單元連續(xù)運行的免維護時間可以長達5年。

電解式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器通常是通過電解純凈水而產(chǎn)生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產(chǎn)量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
紫外線式臭氧發(fā)生器 ： 該類臭氧發(fā)生器是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產(chǎn)生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產(chǎn)量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
電解池式臭氧發(fā)生器： 由于電極材料、電解液與電解機理方面的大量研究工作,電解法臭氧發(fā)生技術進展很大。近期發(fā)展的SPE(固態(tài)聚合物電解質)電極與金屬氧化催化技術,使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發(fā)生器的技術跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發(fā)生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來促進臭氧氣體的產(chǎn)生。