一般的電熱（鼓風）無塵干燥箱均設有溫度均勻度參數：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數，這是為什么？真空干燥箱內依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數的原因。
無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉子流量計，氣體減壓調節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。
無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現象，若漏電嚴禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風機運轉，溫控器通電。初次使用應檢查風機轉向，右側風機從電機端看進去應為逆時針轉，轉向不符應改變電源相序。
無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設定好，再將定時開關擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風條件的室內，在其周圍不可放置易燃易爆物品。
無塵潔凈烤箱內物品放置切勿過擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風電機、加熱管、拉手等應定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無塵潔凈烤箱的日常維護保養(yǎng)工作，使用、維護應有專職人員進行，保養(yǎng)時先切斷電源，安全。
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