同理，陰樹脂置換出OH-，從而生產H2O。去除殘余的離子。以及運用紫外氧化殺菌、降解TOC和終端修飾等手段獲得更純凈的超純水。傳統(tǒng)的純水方法不能制備出超純水，化學意義上純水(液態(tài)的H2O)的理論電導率為18.3M.cm。人們生產的純水是達不到理論值的，但18M.cm似乎是可以達到的，對于這種水，有的稱為高純水，有的稱為超純水，目前還沒有系統(tǒng)的定義。也沒有劃分等級界限，從商業(yè)觀點看叫超純水似乎比高純水更好聽一些。
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