晶圓中200mm 階段，采用晶圓輸送機(jī)代替人手操作，排除人為帶入的環(huán)境污染。隨著IC 制造工藝的發(fā)展和對環(huán)境潔凈度要求的提高，國外機(jī)器人研究機(jī)構(gòu)在上世紀(jì) 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統(tǒng)各部分的關(guān)鍵技術(shù)研究，研制出直接驅(qū)動電機(jī)、位移傳感器等關(guān)鍵部件。
電機(jī)驅(qū)動滑塊沿導(dǎo)軌導(dǎo)向運動，檢測單元反饋位置信號控制機(jī)構(gòu)運動，真空吸附單元與導(dǎo)軌滑塊用連接塊連接，跟隨滑塊運動運載晶圓，其上加裝緩沖裝置單元，使吸管與晶圓、晶圓與上下臂和吸盤接觸過程中防止吸附的晶圓產(chǎn)生變形甚至破損，以及減小對電機(jī)的沖擊。
升降機(jī)構(gòu)運動部件是整個機(jī)構(gòu)的核心部件，完成升降運動是傳輸系統(tǒng)對機(jī)構(gòu)的核心要求。通過的檢測裝置測量運動部件的位置，反映其運動速度、時間以及重要的定位情況。升降機(jī)構(gòu)的定位精度直接影響晶圓到達(dá)工件臺上的精度。
所屬分類：電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
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