管板與筒體采用扳邊連接結構。本體主要焊縫為對接結構，全部焊縫采用埋弧自動焊完成。
因為這是掌握AMC控制的基礎，;按今后IC的生產(chǎn)要求，生產(chǎn)線的設備采用微環(huán)境隔離，各設備間園片的傳送采用前開式標準片盒(FOUPs)系統(tǒng)，對園片進行隔離。早已對設備、FOUPs系統(tǒng)及微環(huán)境所用的材料要求不釋放及吸附有關懸浮分子污染物的問題以及對此污染物的去除措施進行研發(fā)，并不斷改進中;控制AMC的過濾器。近年來尤其是近2～3年來，對控制AMC過濾器的開發(fā)及推出有少進展;A.不釋放AMC物質(zhì)的HEPA/ULPA;低硼超細玻璃纖維過濾器，現(xiàn)已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多;b.多孔聚四稀(ePTFE)過濾器，為薄膜結構，價格比a要高出十倍左右。
受熱面積充裕，大爐膛結構，微正壓燃燒，燃燒熱負荷低，有害物質(zhì)排放量少。
鍋爐燃燒室設計合理，完全適應城市煤氣、天然氣、輕柴油、重油等多種燃料。
鍋爐的煙氣黑度、煙塵黑度、濃度、噪音等技術指標均優(yōu)于國家一類地區(qū)標準。
熱: 鍋爐輻射受熱面為全波紋爐膽，對流受熱面采用螺紋煙管，受熱面大，鍋爐熱效率>105%以上，國家相關規(guī)定。
焊接質(zhì)量高: 鍋爐主要縱、環(huán)焊縫均按JB/T1613焊后進行熱處理以消除應力，焊接質(zhì)量。自動化焊接設備，的探傷合格率。
外觀美觀新穎: 鍋爐外包采用彩色鋼板，前后采用鉸鏈式煙箱，表面為高溫噴漆，新穎美觀。
采用配件: 采用意大利利雅路、意大利百得、芬蘭奧林等品牌燃燒器。配套的關鍵閥門、儀表采用國內(nèi)產(chǎn)品或品牌，如德國西門子、法國施耐德、日本歐姆龍等，有效了鍋爐運行安全。
PLC全智能控制系統(tǒng): 公司擁有自主設計開發(fā),并完全擁有知識產(chǎn)權的PLC全自動智能控制系統(tǒng)，采用機電一體化控制設備和可編程邏輯控制器(PLC)聯(lián)合控制方式。
以的可編程邏輯控制器(PLC)為控制系統(tǒng)的“處理器” ?？刂葡到y(tǒng)通過觸摸屏進行操作，使鍋爐自動化控制程度和運行可靠程度大大提高，且操作更加簡便直觀。
工作原理
冷凝式鍋爐的工作原理：排煙溫度是鍋爐的基本參數(shù)之一，選擇較低的排煙溫度可以降低鍋爐的排煙損失，有利于提高鍋爐的熱效率。如果鍋爐的排煙溫度降到足夠低的水平，那么煙氣中呈過熱狀態(tài)的水蒸氣就會凝結而放出汽化潛熱。冷凝式鍋爐就是利用的煙氣冷凝余熱回收裝置來吸收鍋爐尾部排煙中的顯熱和水蒸汽凝結所釋放的潛熱，以達到提高鍋爐熱效率的目的。
性能優(yōu)勢
1、采用濕背結構，偏置爐膛，波紋爐膽，使受熱面與強度大大提高；
2、鍋爐受熱面積大、升溫升壓快，操作簡便；
3、結構合理、緊湊，負荷適應性強，燃燒完全，熱效率大于105%；
4、冷凝器采用耐露點腐蝕鋼09CrCuSb(ND鋼)螺旋翅片管來制成，使用壽命長；
5、冷凝器安裝在鍋爐上部，無占地面積，傳熱面上的凝結水亦可自然排出；
6、本體安全附件、確保安全、經(jīng)濟運行；
7、配、燃燒器，燃燒穩(wěn)定、可靠；
8、自動化程度高，節(jié)省勞動力；
9、鍋爐體積小、重量輕，占地面積小，基建投資省。
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