產(chǎn)品別名 |
FL系列探針臺(tái),FL-8,探針夾具,探針臺(tái) |
面向地區(qū) |
探針臺(tái)如何工作？
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針?lè)胖玫酱郎y(cè)物上的正確位置。一旦所有探針都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。
對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開(kāi)，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。
探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。
FL系列探針臺(tái) | |||
功能/型號(hào) | FL-6 | FL-8 | FL-12 |
樣品臺(tái)尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
樣品吸附方式 | 真空吸附 | ||
樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 360度旋轉(zhuǎn)，±10度微調(diào) | ||
樣品臺(tái)升降 | 有,10mm升降行程 | ||
樣品臺(tái)行程 | 155mm*155mm | 210mm*210mm | 310mm*310mm |
樣品臺(tái)移動(dòng)精度 | 2um | ||
顯微鏡固定 | 龍門架結(jié)構(gòu)，提高顯微鏡的移動(dòng)精度 | ||
顯微鏡移動(dòng)行程 | 50mm*50mm | ||
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡、體視顯微鏡、金相顯微鏡 | ||
顯微鏡倍率 | 2000X | ||
顯微鏡移動(dòng) | 平移臺(tái)精密移動(dòng) | ||
針座平臺(tái) | U型結(jié)構(gòu)，可兼容探針卡 | ||
針座平臺(tái)升降 | 可快速升降10mm，微調(diào)升降20mm | ||
探針座數(shù)量 | 8個(gè) | 10個(gè) | 10個(gè) |
探針座移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm | ||
探針座移動(dòng)精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um | ||
探針夾具 | 同軸線纜/三軸線纜 | ||
接頭類型 | 三軸接頭/同軸接頭/香蕉頭/射頻接頭等 | ||
探針 | 鎢鋼或者鈹銅，針尖半徑可選 | ||
可搭配儀器 | 源表/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/萬(wàn)用表/示波器/網(wǎng)絡(luò)分析儀等 | ||
其他附件 | 高溫配置、鍍金樣品臺(tái)、屏蔽箱、光學(xué)平臺(tái)、轉(zhuǎn)接頭、轉(zhuǎn)接線 | ||
公司所有產(chǎn)品出廠都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試，產(chǎn)品質(zhì)量，公司所有產(chǎn)品通過(guò)CE認(rèn)證，通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。
