一般的電熱（鼓風(fēng)）無塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設(shè)這個指標(biāo)也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應(yīng)將氮氣接通本機之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調(diào)節(jié)至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內(nèi)后須將門面關(guān)閉，門扣確實扣緊后，門面安全開關(guān)有作用，機臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風(fēng)口，請接至排氣系統(tǒng)冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環(huán)境。
在開始工作前的話要確認(rèn)電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內(nèi)，開啟電源開關(guān)并調(diào)整溫控儀表、適當(dāng)?shù)臏囟扰c加熱恒溫時間，并目操作人員要專心操作并配戴防護(hù)器具:并不得離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關(guān)，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風(fēng)機運轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機從電機端看進(jìn)去應(yīng)為逆時針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。

按動“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。