無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風經(jīng)高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產品的氧化

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產品放置烘箱內
(3)開啟電源開關并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風開關，開啟加熱開關，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風機運轉，溫控器通電。初次使用應檢查風機轉向，右側風機從電機端看進去應為逆時針轉，轉向不符應改變電源相序。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據(jù)工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調節(jié)進氣口大小可調節(jié)烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實際情況合理調節(jié)進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。