產(chǎn)品別名 |
半導(dǎo)體潔凈棚 |
面向地區(qū) |
半導(dǎo)體潔凈棚是一種用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的特殊環(huán)境控制設(shè)施，其關(guān)鍵作用是半導(dǎo)體產(chǎn)品的清潔度。潔凈棚的環(huán)境參數(shù)，如溫度、濕度、壓力、塵埃粒子數(shù)和微生物濃度等嚴(yán)格控制在規(guī)定范圍內(nèi)。
潔凈棚一般由鋼結(jié)構(gòu)或無塵室鋼結(jié)構(gòu)加裝而成，內(nèi)部設(shè)施，包括照明、通風(fēng)、防靜電地板、超凈空調(diào)系統(tǒng)等。建造潔凈棚的材料有多種選擇，如使用防靜電瓷磚、鋼板網(wǎng)、塑料板等。
此外，半導(dǎo)體潔凈棚還應(yīng)滿足相關(guān)安全規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)，如ISO/TS 15816-2和GB50591-2010等。這些規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)對(duì)人員進(jìn)出、更衣設(shè)施、淋浴設(shè)施、應(yīng)急設(shè)施、潔凈棚結(jié)構(gòu)材料、防靜電措施等方面都有嚴(yán)格的要求。
