真空度
　　真空度傳感器，采用的硅微機械加工技術生產(chǎn)，以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的核心元件制成的壓力變送器，由于采用硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔，及一系列無應力封裝技術及精密溫度補償技術，因而具有穩(wěn)定性優(yōu)良、精度高的優(yōu)點，適用于各種情況下壓力的測量與控制。
　　特點及用途
　　采用低量程芯片真空絕壓封裝，產(chǎn)品具有高的過載能力。芯片采用真空充注硅油隔離，不銹鋼薄膜過渡傳遞壓力，具有優(yōu)良的介質兼容性，適用于對316L不銹鋼不腐蝕的絕大多數(shù)氣液體介質真空壓力的測量。真空度傳染其應用于各種工業(yè)環(huán)境的低真空測量與控制。

按其構成
　　基本型傳感器:是一種基本的單個變換裝置。
　　組合型傳感器:是由不同單個變換裝置組合而構成的傳感器。
　　應用型傳感器:是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機構組合而構成的傳感器。
按作用形式
　　按作用形式可分為主動型和被動型傳感器。
　　主動型傳感器又有作用型和反作用型，此種傳感器對被測對象能發(fā)出一定探測信號，能檢測探測信號在被測對象中所產(chǎn)生的變化，或者由探測信號在被測對象中產(chǎn)生某種效應而形成信號。檢測探測信號變化方式的稱為作用型，檢測產(chǎn)生響應而形成信號方式的稱為反作用型。雷達與無線電頻率范圍探測器是作用型實例，而光聲效應分析裝置與激光分析器是反作用型實例。
　　被動型傳感器只是接收被測對象本身產(chǎn)生的信號，如紅外輻射溫度計、紅外攝像裝置等。

靈敏度
　　靈敏度是指傳感器在穩(wěn)態(tài)工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。
　　它是輸出一輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關系，則靈敏度S是一個常數(shù)。否則，它將隨輸入量的變化而變化。
　　靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如，某位移傳感器，在位移變化1mm時，輸出電壓變化為200mV，則其靈敏度應表示為200mV/mm。
　　當傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時，靈敏度可理解為放大倍數(shù)。
　　提高靈敏度，可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高，測量范圍愈窄，穩(wěn)定性也往往愈差。