產(chǎn)品特點：

立自主知識產(chǎn)權的直線型單臂機械手，具有高可靠性、高穩(wěn)定性。

設備配有FFU，采用全封閉結構，可發(fā)揮超潔凈性能，其潔凈度達Class1。

可實現(xiàn)對晶圓缺口的檢測并依據(jù)缺口位置對晶圓進行定位。

配備CCD傳感器及圖像處理軟件，可對晶圓ID刻號進行識別與讀??；

可依據(jù)客戶需求，非標定制。

晶圓在加工過程中，需要對其進行劃片處理，目前現(xiàn)有的晶圓劃片設備村子按以下不足：1、晶圓初的放置隨意性較大，影響后續(xù)晶圓的對正工作；2、每次只能對晶圓的一個表面進行劃片處理，導致正反面劃片的深度難以控制，增加了后期打磨的工作。

除了尺寸，三個關鍵參數(shù)決定刀片特性：金剛石(磨料)尺寸、金剛石含量和粘結劑的類型。結合物是各種金屬和/或其中分布有金剛石磨料的基體。這些元素的結合效果決定刀片的壽命和切削質量(TSC與BSC)。改變任何一個這些參數(shù)都將直接影響刀片特性與性能。為一個給定的切片工藝選擇佳的刀片可能要求在刀片壽命與切削質量之間作出平衡。