TSV絕緣層
TSV 的?屬填充需要用到絕緣層來(lái)對(duì)硅襯底進(jìn)?充分的電?隔離。絕 緣層的?
藝要求包括良好的階梯覆蓋率，?漏電流，低應(yīng)?，?擊穿電 壓，以及不同
的 TSV 集成引起的加?溫度的限制。?氧化硅(SiO2)或 氮化硅(Si3N4)是常用于
等離?體增強(qiáng)化學(xué)?相沉積(PECVD)或減壓 化學(xué)?相沉積(SACVD)的絕緣層。
然?，當(dāng) TSV 直徑小于 3 μm 時(shí)， 絕緣層更適用于原?層沉積(ALD)。ALD有
?個(gè)優(yōu)勢(shì)，如較低的熱預(yù) 算，比現(xiàn)有流程更好的階梯覆蓋率，?需再進(jìn)?表面
處理，并且由于較薄 的絕緣層，降低了 TSV 的 CMP 加?時(shí)間。

銷(xiāo)售各類(lèi)電子材料,經(jīng)營(yíng)品牌:3M屏蔽膠帶，3M導(dǎo)電膠，3M導(dǎo)電膠，3M防護(hù)用品，3M口罩，3M耳塞，,漢高電子膠，洛德EP-937,洛德SC-305,SC-309,SC-320,道康寧184，道康寧DC160 ,, , ，邁圖YG6260，，(Henkel)、，愛(ài)瑪森康明(Emerson&Cuming),ABLEBOND 84-1,AMICON 50262-3,, Emerson&Cuming E1211,E1213,E1330， ,，Ablestik ，樂(lè)泰 QMI516, 樂(lè)泰 電子膠，樂(lè)泰，樂(lè)泰 QMI 600, 樂(lè)泰 QMI168, 樂(lè)泰 MG40F, 樂(lè)泰 KL-2500, 樂(lè)泰 KL-5000HT,KL-6500H,KL-7000HA, 樂(lè)泰 GR828D,KL-8500 MOLDING COMPOUND, 樂(lè)泰 GR9810-1,GR9820,Emerson&cuming 愛(ài)瑪森康明, ,CRC三防漆，CRC70，,,施敏打硬喇叭膠，，三鍵TB120,三鍵TB1230,三鍵TB3160,三鍵TB3300系列，三鍵TB2500，，，,三鍵有機(jī)硅膠，， ，，，Loctite樂(lè)泰595，Loctite樂(lè)泰495，易力高DCA-SCC3三防膠，小西14241，漢新5295B ，漢新 2081，道康寧Q3-3600。易力高 Electrolube、、、日本小西 Konishi、、樂(lè)泰 Loctite、道康寧 Dow Corning、日本礦油、、MAXBOND等絕緣導(dǎo)熱膠、防潮絕緣膠、灌注封裝膠、單組份室溫硫化硅橡膠、電子硅酮膠、粘接膠、密封膠、封裝膠、耐熱膠、防火膠、邦定膠、綠膠、紅膠、透明膠、青紅膠、喇叭膠、環(huán)氧樹(shù)脂、無(wú)鉛散熱膏、硅油、變壓器用膠，手機(jī)用膠，馬達(dá)用膠，揚(yáng)聲器用膠，有機(jī)硅膠，導(dǎo)熱硅脂，攝像頭用膠，LCD用膠，LED用膠，電源用膠，半導(dǎo)體電子膠，COB膠，，UV 膠，導(dǎo)電膠，導(dǎo)熱膠，電器灌封膠，發(fā)泡膠，底部填充膠，環(huán)氧樹(shù)脂，聚氨酯，有機(jī)硅膠，RTV硅膠，HTV硅膠點(diǎn)膠機(jī)各種電子用類(lèi)膠水產(chǎn)品的銷(xiāo)售.具UL和SGS、MIL認(rèn)證資格.是電子、電器、家電、光電、電機(jī)等行業(yè)的配套行業(yè).高導(dǎo)熱環(huán)氧樹(shù)脂灌封膠2850FT，樂(lè)泰2850ft cat11固化劑 ，傳感器灌封膠，電源模塊灌封膠。

TSV 填充
TSV 填充電鍍銅有三種?法:
共形電鍍，自下?上的密封凸點(diǎn)電鍍， 和超共形電鍍。電鍍?法是以各種三維
集成應(yīng)用為基礎(chǔ)的。總的來(lái)說(shuō)， TSV 的結(jié)構(gòu)是深度在 10 到 200μm 之前的典型
的圓柱形孔。TSV 的深度 取決于芯片或晶圓鍵合時(shí)的所需厚度，? TSV 縱橫
比的?小則由介電 膜、阻擋層和種?層和填充過(guò)程決定的。

STYCAST 2561/CAT 11
樂(lè)泰 STYCAST 2651MM/CATALYST 23LV
樂(lè)泰 STYCAST 2651MM/CATALYST 9
樂(lè)泰 STYCAST 2850FT/CAT 11
樂(lè)泰 STYCAST 2850FT/CAT 23 LV
樂(lè)泰 STYCAST 2850KT/CATALYST 9
樂(lè)泰 STYCAST 2850MT/CATALYST 24LV
樂(lè)泰 STYCAST 50500D
樂(lè)泰 STYCAST A312
樂(lè)泰 STYCAST E1070
樂(lè)泰 STYCAST E1847
樂(lè)泰 STYCAST EFF15 SYNTACTIC FOAM POWDER
樂(lè)泰 STYCAST U2500
LOCTITE ABLESTIK 104
LOCTITE ABLESTIK 16-1
LOCTITE ABLESTIK 2000
LOCTITE ABLESTIK 2000B
LOCTITE ABLESTIK 2000T
LOCTITE ABLESTIK 2025D
LOCTITE ABLESTIK 2025DSI
LOCTITE ABLESTIK 2030SC
LOCTITE ABLESTIK 2035SC

小型噴鍍機(jī)臺(tái)
配備有Stir Cup適用于研發(fā)以及小批量生產(chǎn)。
特別適合于鍍孔，Sn/Ag電鍍，Cu pillar等電鍍制程。
銅凸塊制程即wafer從晶圓加工完成基體電路后，利用涂膠、黃光、電鍍及蝕刻制程等制作技術(shù)通過(guò)在芯片表面制作銅錫凸點(diǎn)，提供了芯片之間、芯片和基板之間的“點(diǎn)連接”，由于避免了傳統(tǒng)Wire Bonding 向四周輻射的金屬“線(xiàn)連接”，減小了芯片面積（封裝效率），此外凸塊陣列在芯片表面，引腳密度可以做得很高，便于滿(mǎn)足芯片性能提升的需求，并具有較佳抗電遷移和導(dǎo)熱能力以及高密度、低阻抗，低寄生電容、低電感，低能耗，低信噪比、低成本等優(yōu)點(diǎn)。

小型噴鍍機(jī)臺(tái)
配備有Stir Cup適用于研發(fā)以及小批量生產(chǎn)。
特別適合于鍍孔，Sn/Ag電鍍，Cu pillar等電鍍制程。
體積小，可對(duì)應(yīng)2寸到8寸晶圓電鍍。
只需使用10L或更少的鍍液。
配備循環(huán)過(guò)濾器
配備供排液泵。
Stir Cup
樂(lè)泰3900三防漆，loctite 3900三防漆，軍三防漆，軍三防漆，快速固化三防漆，透明涂層，紫外固化三防漆，噴涂三防漆，共性覆膜三防漆，硅基三防漆。無(wú)溶劑三防漆，汽車(chē)應(yīng)用三防漆，可兼容阻焊膜，免洗助焊劑，環(huán)保三防漆。Crc70三防漆，crc三防漆，crc2403三防漆，紅色三防漆，透明三防漆。電路板涂敷三防漆，電路板三防漆。船舶漆，耐海水漆



Loctite EO1058單組環(huán)氧膠，單組份環(huán)氧灌封膠，汽車(chē)傳感器灌封膠，COB灌封膠，樂(lè)泰EO1058灌封膠，樂(lè)泰eo1016低溫貯存灌封膠，電源模塊灌封膠，軍灌封膠，軍灌封膠。耐高壓灌封膠，水下灌封膠，油泵灌封膠，耐油灌封膠，黑色灌封膠，透明灌封膠，硅凝膠，道康寧184膠，微型逆變器灌封膠，工業(yè)傳感器灌封膠，醫(yī)療傳感器灌封膠，醫(yī)療傳感器導(dǎo)電膠



晶圓臨時(shí)粘接膠，晶圓劃片液，晶圓臨時(shí)鍵合解鍵合，晶圓藍(lán)膜，芯片臨時(shí)粘接膠，芯片臨時(shí)粘接石蠟，芯片石蠟，晶圓石蠟，芯片藍(lán)膜，發(fā)動(dòng)機(jī)控制器灌封膠，耐腐蝕灌封膠，耐腐蝕粘接膠，航空膠，航天膠，軍工膠，膠，柔性導(dǎo)電膠，低溫固化導(dǎo)電膠，常溫固化導(dǎo)電膠，柔性絕緣膠，芯片絕緣膠，ic絕緣膠，MMIC導(dǎo)電膠，GaAs導(dǎo)電膠，無(wú)溶劑導(dǎo)電膠，自動(dòng)化芯片粘接導(dǎo)電膠，自動(dòng)化芯片絕緣膠
北京汐源科技有限公司 漢高北京總代理 Ablestik 貝格斯道康寧 3M 洛德經(jīng)銷(xiāo)商
LED 電源 新能源行業(yè)膠黏劑供應(yīng)商 技術(shù)人員提供整體用膠解決方案。
灌封膠 密封膠 導(dǎo)熱硅脂 導(dǎo)熱墊片 防靜電產(chǎn)品 UV膠等
有機(jī)硅灌封膠 導(dǎo)熱灌封膠 三防漆 密封粘接膠 漢高漢新 漢高樂(lè)泰 環(huán)氧樹(shù)脂灌封膠 導(dǎo)熱粘接膠 LED膠黏劑 電源灌封膠 電子膠水 北京導(dǎo)熱灌封膠 北京樂(lè)泰 北京三防漆 北京膠黏劑 厭氧膠 螺紋膠 光纖膠 導(dǎo)熱膠 導(dǎo)電膠 三防漆 鍵合膠 鍵合金線(xiàn) 鍵合金絲 脫泡機(jī) 平行封焊 點(diǎn)膠機(jī) 晶圓清洗液 晶圓劃片保護(hù)液。